AOI ***应用行业——FPD 领域

FPD—AOI的主要应用于以下检测：Mura缺陷检测，ColorFilter缺陷检测，色度、厚 膜、光学密度检测，PI检测，LC液晶检测。检测工序遍布LCD、OLED以及TouchPanel 产品等平板显示器件的生产环节，主要利用光学信号对其结构和外观做出检测并辅 助其他功能性检测。主要目的有三：（1）避免不良品流入下道工序；（2）改善制程 工艺和流程；（3）对不良品进行解析，提升良率。

在彩色滤光片的生产工艺环节上，AOI设备主要用于黑框（BM）、RGB彩色膜、铟 锡氧化物薄膜（ITO）、MVA、PS和INS等制程中，目前由田的CF—AOI设备实现了 8.5代线（2200mm*2500mm）的应用；在薄膜晶体管的生产工艺上，AOI设备主要 用于配向膜检测，偏光片贴附检测，点亮检测（点、线、Mura）以及外观检测上。

提良率、增产能——AOI设备必不可少。

对高清、超高清晰度和零缺陷电视机和移动 设备的需求,要求平板显示器制造商开发更复杂的面板设计,并实施更严格的生产过 程控制。液晶显示器和OLED显示器的检测,由于某些导体和绝缘体所使用的透明材 料、多层结构和高密度特性以及潜在缺陷的精细性质,对技术提出了截然不同的挑战。

传统人工肉眼翻查缺陷检测方式主观性大，误检、漏检率高。基于数字图像处理的 AOI检测设备具有精度高、速度快、无接触的优点，能够克服人工检测的弊端，在显 示器缺陷检测行业有良好的应用前景，从前道的ITO玻璃检测、背光模组检测，到Cell 贴合、LCD模组的COG设备、对位贴合、切割机、飞针探测设备等，都离不开AOI相 关设备；同时LCD和OLED的检测、测试和维修过程也必须与LCD设备的高生产速度 相匹配,这一要求使得LECD和OLED制造商在新型显示器需要识别设备，将会 拉动对AOI的需求。LCD和OLED易受各种缺陷的影响,其中许多是由于生产中使用的 沉积、光刻和蚀刻工艺所致。在生产过程中检测和修复这些缺陷使制造商能够改进 对其生产过程的监视,避免成本进一步昂贵的材料并大幅度提高其产量。

 断面x射线、或三维X射线测试系统——克服了传输x射线测试系统的缺点，该系统可以做分层断面检测，相当于工业CT。因为焊点比较暗，焊盘比较亮，用黑／白光计算方法、求黑占白的比例来求暗的面积占整个焊点的百分比，可检测焊锡量过多或过少。AOI通过人工光源LED灯光代替自然光，光学透镜和CCD代替人眼，把从光源反射回来的量与已经编好程的标准进行比较、分析和判断。