热风循环烘箱的故障分析

首先查看烘箱差压表，判断烘箱内风速是否正常。别的一个方法是准备好洗衣粉水和打针器，拿打针器对也许缝隙的当地打针洗衣粉水，仔细观察假如打针处有冒泡点阐明这个点是漏点。了解热风循环烘箱内被加热物品摆放是否过于密集，高温高l效过滤器是否堵塞，风量调节板是否被改动，排除这些原因后，再判断循环风机是否存在故障，造成热风循环空气流通不好，湿热空气不能正常排放。其次从故障现象和烘箱的电路原理分析，烘箱能够加热，说明GCD一23A型智能电脑温控仪输出信号正常，PLC输入输出信号也正常。

干燥箱的干燥速度影响因素

影响干燥箱干燥速度因素有以下几点：

　　(1)物料的尺寸，形状，大小，物料本身的含湿量、密度、粘度等性能。一般，物料颗粒细而均匀、堆放松散、厚度薄，则内部水分容易扩散。若提高物料的初温、经真空过滤前处理、降低物料含湿量等，均能提高真空干燥速度。

　　(2)真空度越高，越利于水分在较低温度下汽化，但真空度过高不利热传导，会影响对物料的加热效果。

　　真空干燥箱为提高物料干燥速度，应根据物料的特性综合考虑真空度。通常，真空度应不低于1×104Pa。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。TEED一2001K超温报警温控仪输出信号控制PLC整个程序的运行，铂电阻PT100测试信号至报警温控仪与超温报警设置温度值进行比较，当实际温度值低于设定值时，输出控制信号给PLC，PLC程序正常运行。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱的操作在各种试验中都比较简单，但在使用过程中也可能遇到各种情况。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。