烘箱介绍及其注意事项

仪表控温的热敏元件探头应从左侧线路的测温孔中插入工作室内,不得从箱顶气阀中心孔插入，以免影响使用。

本干燥箱初次使用时，应请勤加以观察，避免过热烘坏工件，造成损失。

使用如感到热惯稍大时，可关闭一组加热器以降低发热功率，防止惯性过大造成超温。

取入烘烤物件：请勿撞击伸入工作室的控温器部份，防止损坏控温器导致失灵。

本箱在没有说明“防爆烘箱”的情况下切忌烘烤易曝，容易橪烧及挥发性的物品，以防曝炸。

如遇故障，请电工检修。

使用烘箱时应该注意什么？

带有电接点水l银温度计式温控器的烘箱应将电接点温度计的两根导线分别接至箱顶的两个接线柱上。另将一支普通水l银温度计插入排气阀中，（排气阀中的温度计是用来校对电接点水l银温度计和观察箱内实际温度用的）打开排气阀的孔。放置箱内物品切勿过挤，必需留出气氛天然对流的空间，使湿润气氛能在风顶上减速逸出。调节电接点水l银温度计至所需温度后紧固钢帽上的螺丝，以达到恒温的目的。但必须注意调节时切勿将指示铁旋至刻度尺外。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。市场的激烈竞争下，高温真空烘箱坚持***创新，以更好的设计、优越的性能展现在市场上。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。高温烤箱的发热原理高温烤箱是一种密封的用来烘烤食物或烘干产品的电器，分为家用烤箱和工业烤箱。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。