烘箱结构特点

概述

烘箱，采用******推广的节能环保加热新技术，通过电源使电热管加热，产生热源，当它被加热物体吸收时可直接转变为热能，从而获得快速干燥效果，达到缩短生产周期，节约能源，提高产品质量等目的。

结构

烘箱箱体由角钢、薄钢板制成。外壳与工作室间填充玻璃纤维保温与隔热。加热系统装置在工作室的顶部。水平式循环通风，使之箱内的温度更加均匀，本型烘干箱能有效的避免工作室内存在的梯度温差及温度过冲现象，且能提高工作室内的温度均匀性。

温度控制

采用智能程序温控仪控温，PID参数自整定，固态继电器调功率，无触点连续调节，自动完成烘干全过程，能满足任何固化曲线的要求，操作简便，。定时对烘箱的防爆门进行检查和看摆放位置有足够的弹出距离，密封条需要定时更换，在腐蚀性比较大的地方，烘箱底部应该进行离地摆放。配用热敏元件探头组成自动恒温控制。控温精度灵敏，室温~300℃任意选择设定。工作室内温度可以从仪表直接读出。恒温时间可达99.99H

吴江程运自动化烘干设备有限公司是一家集技术开发研究、生产、销售、***服务于一体的企业，生产多种电热机械设备。

产品种类：烘箱、烤箱、电烘箱、电热烘箱、恒温烘箱、电焊条烘箱、可编程烘烤箱、精密烘箱、去氢烘箱、真空烘箱、防爆烘箱、浸漆干燥箱、电热鼓风干燥箱、热风循环烘箱、新型节能环保电热烘箱、节能流水线烘道等大型烘箱设备。（有防爆窗口和防爆电器配置）如果买的不是防爆烘箱就必须在摆放位置上考虑到尽量通风，门的拉手铰链经常检查更新，排气阀门尽量全部打开，不要节省这点能源了，不然就重新考虑买个防爆烘箱，在阿里电气市场就有的。该设备采用新的变频技术和热导热原理，热能再生利用从而达到高l效节能省电的效果。的风道及发热设计使工作室内具有温度均匀、效l率高、升温快、自动超温报警、温度精l确等特点。

工业烘箱

供工矿企业、化验室外、l科研单位等作干燥、烘焙、熔腊、灭菌之用。

??箱体结构:

??1、工作室采用优l质钢板或不锈钢板。

??2 、微电脑智慧控温仪，具有设定，测定温度双数字显、定时、功率***和自整定功能。

??3 、热风循环系统由低噪声风机和风道组成，工作室内温度均匀。

无尘烘箱的用途:

和呈无尘烘箱主要用于半导体制造中硅片、铌酸锂、 玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的

高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到佳温度控制精度。无尘工业烤

箱适用于电子液晶显示、LCD、 CMOS、IS、 医l药、实验室等生产及科研部门。无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易l燃易

曝物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。烘箱是当今市场上出现的一类新型的烘箱设备，它的问世给烘箱行业带来了新的销售风浪。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。当需要观察工作室内样品情况时，可开启外道箱门，透过玻璃门观察。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。