相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。

******室净化工程如何设计才能满足功能需求?烟雾试验：烟雾试验是一种很简单的程序，用于确定房间是否已处于负压状态。具体方法：将一节火管置于负压室门下方，与门保持约2英寸距离。轻轻挤压火管球茎，让火管产生少量烟气。手持火管，与门保持平行，烟气从管道中慢慢排出，确保烟雾排出速度低于空气速度。如果房间已处于负压条件，烟雾则会从门下方流入房间。如果房间处于非负压条件，烟雾则会吹向门外或者保持静止不动。该试验必须在门保持关闭的情况下进行，并且，房间的所有窗户也必须紧闭。如房间的空气净化器已在运行(包括通风柜或者生物安全柜)，必须保持运行。如房间有接待室，则应测试从走廊到接待室以及接待室到房间的压力差。

什么是净化室?洁净室是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给予格外规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有保持原先所设定请求之洁净度、温湿度及压力等功用之特性。洁净室主要之效果在于操控商品（如硅芯片等）所触摸之大气的洁净度日及温湿度，使商品能在一个杰出之环境空间中出产、制作，此空间咱们称之为洁净室。

  空气净化工程的作业原理是：

用风机将空气抽入机器，经过内置的滤网过滤空气，首要能够起到过滤粉尘、异味、有***体和杀灭有些***的作用。滤网又分：集尘滤网、去甲醛滤网、除臭滤网、HEPA滤网等。其间本钱比较高的即是HEPA滤网，它能起到分化有***体和灭菌作用，格外是按捺二次污染。这类商品的特点是风机功用以及滤网的质量决定净化作用，机器的放置以及室内规划影响净化是不是che底，室内净化作用不均衡，也难以che底，滤网更换费用较高。