相对湿度在35%－40%之间能够作为一个令人满意的折中，半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度，包含腐蚀的进程，将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时，高湿度能够使反响加速。幸运的是，一些金属，例如铝，能够与水构成一层维护形的氧化物，并阻止进一步的氧化反响；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有维护才能的，因而，在高湿度的环境中，铜制外表更容易遭到腐蚀。

对于无尘车间的压强差来说需要靠着新的通风数量，而在通风的数量上可以偿还一下从中漏掉的风数，因此所谓的无尘车间的压强差距指的就是风经过无尘车间中缝隙时候的阻力。相对无尘车间的乱流室来讲，一般就是凭气体来将室内的温度稀释的，而对室内的气体流速来说有如下一些要求。1、把无尘车间的出风的位置相对气流的速度不要太大，而较于空调室内来说，相对速度的要求shuai退更快。2、对于无尘车间内部平行的气体流速来说，不能太大，这样也不容易让表面上的粒子重返回去。

  无尘车间工程的洁净度不合格的原因

1.洁净厂房清涪不che底，毋庸置疑，洁净厂房在检测前必须he底清扫，才能进行检测。要求后的擦拭人员，身着洁净工作服进行清扫，以排除清扫人员***造成的污染。清洗剂可以选用自来水、纯水、有ji溶剂、中性洗涤剂等。有防静电要求的，后用沾有防静电液的抹布擦拭一遍。

2.送风管或过滤器密封不好，这种现象是施工粗糙造成的，在验收时会表现出在同一系统中某个房间或局部不合格，改进的方法是，送风管采用漏光试验法检漏，过滤器用粒子计数器对过滤器的断面、封胶、安装框架进行扫描，找出***位置，精心密封。

净化室工程共包含下列功用室：主实验室：该实验室为主体实验室，规划的净化等级为三十万级—十万级。更衣室：该实验室用于放置更衣柜，进主实验室之前的替换衣服和鞋运用。缓冲室：该实验室为ICP仪器室的一个缓冲室，用作隔离实验室外部的尘土充满到仪器室内。风淋室：思考更高净化等级的请求，关于本实验室的实际请求，能够不选用。