无尘车间工程的洁净度不合格的原因，净化空调系统没有清扫干净，在施工过程中，整个净化空调系统，尤其是送、回风管道都不是一次完成，施工人员和工环境都会造成通风管道和过滤器的污染。如不清洁干净，将直接影响检测结果。改进措施是，边施工边清洁，面前yi段管道安装完成che底清洁后，可用塑料薄膜密封，避免环境等造成的污染。 

净化室工程共包含下列功用室：主实验室：该实验室为主体实验室，规划的净化等级为三十万级—十万级。更衣室：该实验室用于放置更衣柜，进主实验室之前的替换衣服和鞋运用。缓冲室：该实验室为ICP仪器室的一个缓冲室，用作隔离实验室外部的尘土充满到仪器室内。风淋室：思考更高净化等级的请求，关于本实验室的实际请求，能够不选用。

净化工程洁净室的温湿度主要是根据您的加工技术请求来断定，在满意加工技术的条件下，必选应当思考人的舒适感。随着空气洁净度请求的进步，技术对温湿度的请求也越来越高，有必要到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***技术中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差请求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就导致了0.24um线性膨胀，所以有必要有±0.1度的恒温，一起请求湿度值通常较低，因为人出汗今后，对商品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超越25度。

洁净***室净化工程产生污染的因素:1、生物污染,就是室内生物污染.室内污染表现在居室内饲养家畜、宠物等动物,这些动物都会使微生物包括***、病毒、***、霉菌等许多繁殖.2、物理污染,这儿所说的物理污染物首要来源于人员在室内活动所构成的污染,包括尘埃、粉尘、纤维以及矿藏燃料燃烧或吸烟发作的可吸入污染物、焦油等。