近年,在这些规则规模中坚持处理空气进程,使咱们必需承担资金和运营本钱。可是为什么值得花费这么多钱用在无尘车间、洁净室中操控相对湿度呢?道理很简单,因为相对湿度有一系列可能使洁净室总体体现下降的因素,其间包含:1、***成长;2、工作人员感到室温舒适的规模;3、出现静电荷;4、金属腐蚀;5、水汽冷凝;6、光刻的退货;7、吸水性。
影响无尘净化工程洁净度及选择气流速度的因素主要是:(1)室内污染源:建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源,根据具体情况而异,变化很大;(2)室内气流流型及分布:单向流要求均匀、平等的流线,但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合,避免死角及温度分层。
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