相对湿度在35%-40%之间能够作为一个令人满意的折中,半导体无尘车间、洁净室一般都运用额外的操控装置以约束静电荷的堆集。许多化学反响的速度,包含腐蚀的进程,将跟着相对湿度的zeng高而加速。一切暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的外表都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些外表是由能够与水反响的薄金属涂层组成时,高湿度能够使反响加速。幸运的是,一些金属,例如铝,能够与水构成一层维护形的氧化物,并阻止进一步的氧化反响;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有维护才能的,因而,在高湿度的环境中,铜制外表更容易遭到腐蚀。
净化工程位置应该如何选择?一、应在大气含尘浓度较低,自然环境较好的区域。二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和***气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时,则应位于其频率风向上风侧,或全年小频率风向下风侧。三、应布置在厂区内环境清洁、ren流货流不穿越或少穿越的地段。
无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列基本原则:排除/除去,在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是肯定理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
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