净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　洁净隧道(Clean

Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

　　洁净隧道另有二项优点：

　　A.弹性扩充容易;

　　B.维修设备时可在维修区轻易执行。

　　光学微电子净化工程解决方案:净化工程的设计过程中，应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。5μm，例如，1级、10级、100级无尘室***、1大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。

　　空气净化在人类生活中重要作用

　　人们每天平均有70%以上的时间在室内渡过。烦恼的效应由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。随着人们生产和生活方式的改变，更多的工作和体育***活动都可在室内进行,购物也不必每天上街，合适的室内气候使人们不必经常到户外去调节热效应，这样，人们的室内活动时间就会更多，甚至高达90%以上。而老、幼、病、残等弱势群体、机体抵抗力较低、户外活动机会更少，因此，室内空气质量的好坏与人们的关系尤为重要。