旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。

罗茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，分子真空泵等。国内***大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。

分子泵：分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

立式多级离心真空泵在安装时稍有不慎就会导致安装没做好，影响日后真空泵的工作性能。接下来为大家解析一立式多级离心真空泵下常见的安装误区及有关的解决办法。一、立式多级离心真空泵进水管路上弯头多，若是在进水管路上用的弯头多，会添加有些水流阻力。而且弯头应在笔直方向转弯，不允许在水平方向转弯，避免集合空气。二、装置进水管路时，水平段水平或向上翘。这样做会使进水管内集合空气，下降水管和水真空泵的真空度，使水真空泵吸水扬程下降，出水量削减。正确的做法是：其水平段应向水源方向稍有歪斜，不该水平，更不得向上翘起。

多级离心真空泵进水口与弯头直接相连　　这样会使水流通过弯头进入叶轮时散布不均。当进水管直径大于水真空泵进水口时，应装置偏疼变径管。偏疼变径管平面有些要装在上面，斜面有些装在下面。不然集合空气，出水量削减或抽不上水，并有撞击声等。若进水管与水真空泵进水口直径持平时，应在水真空泵进水口和弯头之间加一向管，直管长度不得小于水管直径的2～3倍。