定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个***工作室的旋片真空泵。

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

多级离心真空泵进水口与弯头直接相连　　这样会使水流通过弯头进入叶轮时散布不均。当进水管直径大于水真空泵进水口时，应装置偏疼变径管。偏疼变径管平面有些要装在上面，斜面有些装在下面。不然集合空气，出水量削减或抽不上水，并有撞击声等。若进水管与水真空泵进水口直径持平时，应在水真空泵进水口和弯头之间加一向管，直管长度不得小于水管直径的2～3倍。