目前市场主流常规水平式蚀刻机,在板子双面同时喷淋蚀刻过程中,显然下表面蚀刻速度与蚀刻均匀性要比上表面好,上表面的板四周蚀刻速度快于中间部位。这主要由于通常的喷淋蚀刻过程中板子上表面会形成蚀刻液的“水池”,严重影响蚀刻均匀性与引起侧蚀。
真空蚀刻机的一组模块结构,内设有加装智能吸水系统套件,吸取板面走蚀刻液,不使蚀刻液滞留在板面。真空吸液盘固定在桥板上离基板调为的距离位置。 如0.2mm厚以下的板子精度达到+-0.01mm,相比常规蚀刻机高出一倍,产能相比常规蚀刻机高出三分之一,同样也提。使用该真空技术给企业改善精工制造也带来强大的核心竞争力!
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