刻蚀机目前国际上主要的供应商为应用材料、LamResearch等。中国方面技术有慢慢追上的趋势，即将登录科创板的中微半导体，其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电(2330-TW)验证，将用于***首条5nm制程生产线。而北方华创则是在14nm技术有所突破。市场预估今明两年中国刻蚀机需求分别达15亿美元与20亿美元。    抛光：可以使晶圆表面达到性的平坦化，以利后续薄膜沉积工序。美国应用材料、Rtec等均为国际上主要供应商，中国则有中电科装备、盛美半导体等。但陆厂的产品才刚打入8寸晶圆厂中，12寸的相关设备还在研发，明显与国际大厂有实力上的差距。市场预计今明两年中国抛光机需求将达3.77亿美元与5.11亿美元。

以不锈钢US304的腐蚀加工为主

　　蚀刻机里添加化学蚀刻液为：三氯化铁

　　化学式：FeCl3=FeCl3·6H2O

　　一.蚀刻液条件

　　波美度： 38°—42°

　　药液温度： 45°—50°

　　PH值测量区间： 1PH-3PH

　　氧化剂 FeCl3

　　二.新反应过程

　　三氯化铁蚀刻液对不锈钢的蚀刻是一个“氧化---还原”过程：

　　1.氧化反应：2FeCl3+Fe=3FeCl2

　　三氯化铁+不锈钢+水=氯化亚铁+板材蚀刻成品+水+不锈钢杂质

不锈钢具有许多优良的性能，如导电性、导热性、强度、韧性、塑性、耐磨性、可铸造性等。不锈钢仍然是重要的结构材料，广泛应用于生产、生活和科技工作的各个方面。不锈钢制品在生产和使用过程中，遭受了各种损伤，如机械磨损、生物损伤、腐蚀等。   

 1、不锈钢蚀刻的定义    不锈钢蚀刻机是不锈钢在环境的作用下所引起的***或变质。不锈钢的蚀刻还有其他的表述。所谓环境是指和不锈钢接触的物质。例如自然存在的大气、海水、淡水、土壤等，以及生产生活用的原材料和产品。由千这些物质和不锈钢发生化学作用或电化学作用引起不锈钢的蚀刻，在许多功能情况下还同时存在机械力、射线、电流、生物等的作用。不锈钢发生蚀刻的部分，由单质变成化合物，至使生锈、开裂、穿孔、变脆等。因此，在绝大多数的情况下，不锈钢蚀刻的过程是冶金的逆过程。