刻蚀机目前国际上主要的供应商为应用材料、LamResearch等。中国方面技术有慢慢追上的趋势，即将登录科创板的中微半导体，其自主研发的5nm等离子体刻蚀机经台积电(2330-TW)验证，将用于***首条5nm制程生产线。而北方华创则是在14nm技术有所突破。市场预估今明两年中国刻蚀机需求分别达15亿美元与20亿美元。    抛光：可以使晶圆表面达到性的平坦化，以利后续薄膜沉积工序。美国应用材料、Rtec等均为国际上主要供应商，中国则有中电科装备、盛美半导体等。但陆厂的产品才刚打入8寸晶圆厂中，12寸的相关设备还在研发，明显与国际大厂有实力上的差距。市场预计今明两年中国抛光机需求将达3.77亿美元与5.11亿美元。




在古时从事腐蚀加工的技师，不像我们今天这样有很多的方法将图文转移到需要腐蚀的金属表面。早的方法可能是采用一些石蜡、松香、沥青等，也可能采用、桐油等天然有机材料。据记载到了16世纪时专门从事腐蚀加工的工匠们，要耐心地耗时数周甚至数月的时间，将这些材料按某种比例捣碎，再用液体沥青或桐油调合，也可能是直接加温熔化而制成保护涂料。然后用刷子仔细地把保护涂料涂抹在需要腐蚀的整个零件表面，经午燥或冷却硬化后;再用针或之类的硬物在保护层上把图案制作出来，接下来就是用原始的方法进行腐蚀加工。我们可以想象，他们是怎样地在腐蚀部位周围用石蜡等天然常温固态树脂筑起屏障，然后将酸液慢慢地加到需要腐蚀的部位上。我们可以估计到这些专门从事腐蚀的工匠们会遇到的各种困难，比如:防蚀层的粘着力不够，在还没有达到腐蚀深度要求时，防蚀层就可能全部或部分脱落，这时就需要用手工来抛光以去掉所有的腐蚀斑痕;用石蜡等天然树脂所筑起的防蚀墙并不能很好地防止酸的外溢，使零件的外缘或其他部位遭到腐蚀，而这些零件在进行腐蚀之前就已经加工完成，同时已具有昂贵的价值，并由此而承担极大的风险。随着其他辅助技术和有机材料的发展，可以用非金属材料制作成大的容器，同时也逐渐掌握了使用防蚀涂料对零件其他部位的保护，这时就可以直接将零件浸人一足可。

以不锈钢US304的腐蚀加工为主

　　蚀刻机里添加化学蚀刻液为：三氯化铁

　　化学式：FeCl3=FeCl3·6H2O

　　一.蚀刻液条件

　　波美度： 38°—42°

　　药液温度： 45°—50°

　　PH值测量区间： 1PH-3PH

　　氧化剂 FeCl3

　　二.新反应过程

　　三氯化铁蚀刻液对不锈钢的蚀刻是一个“氧化---还原”过程：

　　1.氧化反应：2FeCl3+Fe=3FeCl2

　　三氯化铁+不锈钢+水=氯化亚铁+板材蚀刻成品+水+不锈钢杂质

不锈钢具有许多优良的性能，如导电性、导热性、强度、韧性、塑性、耐磨性、可铸造性等。不锈钢仍然是重要的结构材料，广泛应用于生产、生活和科技工作的各个方面。不锈钢制品在生产和使用过程中，遭受了各种损伤，如机械磨损、生物损伤、腐蚀等。   

 1、不锈钢蚀刻的定义    不锈钢蚀刻机是不锈钢在环境的作用下所引起的***或变质。不锈钢的蚀刻还有其他的表述。所谓环境是指和不锈钢接触的物质。例如自然存在的大气、海水、淡水、土壤等，以及生产生活用的原材料和产品。由千这些物质和不锈钢发生化学作用或电化学作用引起不锈钢的蚀刻，在许多功能情况下还同时存在机械力、射线、电流、生物等的作用。不锈钢发生蚀刻的部分，由单质变成化合物，至使生锈、开裂、穿孔、变脆等。因此，在绝大多数的情况下，不锈钢蚀刻的过程是冶金的逆过程。