蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准***机，***系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准***、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时""到硅片上的过程。

光栅刻画:光学中光栅通常的作用是色散。光栅刻划是制作光栅的方法之一。

蚀刻机的冷冻蚀刻技术是在冷冻技术的基本上发展趋势起來的更繁杂的复型技术。假如将冷冻的样品的溫度略微上升，让样品中的冰在真空泵中提升，而表面层浮雕图案出细胞质的超微结构。当很多的干冰升华以后，对浮雕图案表层开展铂一碳复型，并在腐蚀水溶液中去除生物技术，复型经重蒸水数次清理后，捞在载在网上作透射电镜观查。

技术优势：

蚀刻机的冷冻蚀刻技术是以50时代逐渐发展趋势起來的一种将和复型紧密结合的制取透射电镜样品技术，因此亦称冷冻或冷冻复型。

它的优势取决于：

①样品根据冷冻，可让其细微构造贴近于活物情况；

②样品经冷冻蚀刻后，可以观查到不一样面的细微构造，从而可科学研究体细胞内的膜性构造及含有物构造；

③冷冻蚀刻的样品，经铂、碳镀洛而制取的复型膜，具备较强的层次感且能承受离子束负电子和长期性储存。

技术缺陷：

它的缺陷是：冷冻也可导致样品的人为因素损害；面多造成在样品构造敏感的位置，没法有到达站挑选。

简易而言，说白了的蚀刻机，便是在芯片加工的全过程中所务必应用的一种机器设备，这类机器设备的***就好像是手工雕刻中的雕刻刀一样，用诸多方式把一块详细的金属板中大家不用的一部分给去祛除，剩余的便是大家必须的电源电路了。

集成ic蚀刻加工的全过程：金属板的表面上面有一部分沒有遮盖光刻技术，而这一部分金属材料在蚀刻机的***下被去除开，随后金属板（换句话说圆晶）的表面就变成了大家要想的样子。

蚀刻机的目地便是持续把金属板表面大家不用的一部分给挖去。

为了更好地做到以上目地，初是应用的化学物质来挖去这种化学物质，终究化学物质能够 跟金属板中的原材料产生反映，十分迅速便捷，可是在其中也造成了一个非常大的难题：液态的腐蚀是向每个方位的，不太好操纵。

打个品牌形象的比如，你用一块木板可以遮挡水灾吗？回答是不可以，由于水就会绕开这方面木板。而用化学物质腐蚀金属表面有很多的缺点。下边这幅图就很好的表明了这类难题，有机化学液态绕开了遮盖圆晶表面的光刻技术，腐蚀了大家不愿腐蚀的一部分。如果我们规定电源电路十分细，那麼这类不必要的腐蚀毫无疑问会危害电源电路的特性。这就如同一根柱头，你一直在两侧挖去一点儿，假如这一根柱头太粗，那麼没有什么很大的关联，假如这一根柱头很细，那麼可能就需要扔掉了——这也是为什么化学物质蚀刻加工的方式不适感用以高些制造的集成ic。

因此 大家必须一种不容易转弯的化学物质来腐蚀金属表面，这类物品是什么呢？回答是“光”。仅是不容易转弯的，因此 能够 挺直地腐蚀金属表面。当然，这儿的“光”并不是确实光，只是一种等离子技术，根据等离子技术来对金属表面开展蚀刻加工。为何低温等离子能够 腐蚀金属表面、如何造成低温等离子的，这一不重要，大家只必须了解低温等离子蚀刻机更强、能够 用于生产制造更高精密的集成ic就可以了。