标准气体分析方法:
1、非色散红外分析法
非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的***、二氧化碳、***、氨、***、***、丙烷、丁烷等组分的含量。非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。
2、微量氧分析仪
在高纯气体的分析中,几乎所有的高纯气体(高纯氧除外)中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的氧,准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧,是气体分析中的难点之一。随着气体工业和仪器工业技术的不断进步,国内外分析仪器厂家已生产出不同原理的微量氧分析仪。
高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求:
1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s;
2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s;
3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s
4、氦检漏发现的泄漏点经修补后,应重新气密性试验并合格,然后应按规定再时行氦检漏。
5、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。
6、系统测试完毕,应充入高纯氮气或***气,并应进行吹扫。
7、测试完毕后,应提交测试报告。
混合气体有什么用途:
用于电子元件的制造。含微量产物的气体,例如:氢气、氦气、***气或氮气等气体,用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体,若磷的含量高,通常用来制造稼半导体。
用于焊接:氧和***的混合物,二氧化碳和氦-氮气都可以供焊接使用。 用于冷却。冷冻剂例如氯代***和碳氟化合物的混合气都可用于冷却用。 用于烟熏,***和乙烯氧化物都可用于烟熏。
用于化学检验。美国材料试验学会将气体混合物用作保护气氛。 用于冶金,氢-氮气可用于热处理 用于泄漏探测。低百分含量的碳氟化合物,例如碳氢化合物-12或氦与空气或氮气的混合物,都可用于探测泄漏。
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