什么是高纯气体？

改革开放以来，随着我国高新技术的快速发展，计算机工业对大规模集成电路与液晶显示器的需求量增加；也可以采用微小振动或使钢瓶上下运动的方法加快钢瓶内的气体混合均匀。随着新型能源的发展，我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产；此外，新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也过的迅猛发展，上述高新产品的生产中，都需要大量高纯气体，以制造出性能可靠的各种器件。什么是高纯气体？半导体集成电路所需要的高纯气体主要分为两大类：1、普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体等。

半导体气体很多是对******。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造***员生命的危害，也就是因为这些显而易见的***，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。氦气让声音变化主要是因为声波在普通的空气中，传播的速度是每秒360米，由于氦气比空气要轻，在氦气中声音传播的速度约为每秒900米，所以吸了氦气后声音会发生变化。

电子气体的特点

电子气体(Elect ron ic gases) ：半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4 _6 m+ p- _4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。事实上,用实验方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是非常困难的。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级、L S I (大规模集成电路) 级、VL S I (超大规模集成电路) 级和UL S I (特大规模集成电路)级。