什么是高纯气体?
改革开放以来,随着我国高新技术的快速发展,计算机工业对大规模集成电路与液晶显示器的需求量增加;笔者认为,所谓高纯气体纯度是通过规定方法直接测得或扣除规定杂质计算求得的浓度值。随着新型能源的发展,我国大力开拓了多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的生产;此外,新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也过的迅猛发展,上述高新产品的生产中,都需要大量高纯气体,以制造出性能可靠的各种器件。什么是高纯气体?半导体集成电路所需要的高纯气体主要分为两大类:1、普通气体:也叫大宗气体,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。2、特种气体:主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、蚀刻用气体等。标准气体的稳定性
标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。装入高压钢瓶中的标准气体理论上在保存和使用过程中其浓度值不应发生变化。但实际上,标准气体中的组分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象而使其浓度值随时间发生变化,浓度越低、组成成分越复杂时这种变化越大。2017年5月2日,科技部印发《“十三五”***制造技术领域科技创新专项规划》中关键材料部分提到面向45-28-14纳米集成电路工艺,***研发包括超高纯电子气体和其他关键材料产品。因此,标准气体的稳定性在很大程度上与容器的材料物性、容器内壁的预处理情况和气体本身的化学特性有着密切的关系。氧气的物理性质
氧元素位于周期表第六族,原子序数为8,原子量为16,分子量为32.在通常情况下,氧是无色、无味的气体。空气中含有自由状态的氧,按体积氧的含量约占21%,按质量约占23%。在标准状况下,1升氧气的质量为1.429克,它比空气稍重。当温度降到-183℃ 时,氧态氧变成淡蓝色的液体;当温度降到-218.8℃ 时,液氧就会变成雪花状的淡蓝色固体。高纯管道在高纯气体输送中的意义:腐蚀性能较强的气体时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则,管材将会由于腐蚀而在内表面一种特种处理的高纯不锈钢管,至使高纯管道系统(包含管道、管件、阀门、VMB、VMP)在高纯气体配送中占有至关重要的使命。氧是自然界中含量较多的元素,分布很广,占地壳中各元素总量的47%,占水成分的89%,占地壳中岩石,抗物成分的46.6%。
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