兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些？

干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快，则产能越快，有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制，一般而言，在其它因素尚可接受的范围内，蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标，均匀度越好意谓着有较佳的良率，当晶圆尺寸越来越大，均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳，除了少数特例，如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole)，为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage)，因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。

金属蚀刻温度对蚀刻速度的影响：NaOH浓度对蚀刻速度影响当蚀刻液中NaOH浓度一定时，提高蚀刻温度，蚀刻速度加快，通过实验发现蚀刻温度每升高12摄氏度，蚀刻速度增加0.7-1倍。但温度如无限制升高（温度为溶液沸点），虽然能加快金属蚀刻的速度，但是温度太高，蚀刻过程难于控制，加上过高的温度也容易***防蚀层，并使蚀刻后铝合金表面粗糙度升高，蚀刻温度一般以80-100摄氏度为宜。

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