镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响
靶基距:靶基距是影响成膜速率的重要因素之一,随着靶基距增加,被溅射材料射向基片时与气体分子碰撞的次数增多,同时等离子体密度也减弱,反光杯真空镀膜哪家好,动能减少,沉积速率降低,但膜层外观较好。靶基距太小,沉积太快,工件温升大,膜层外观差。
靶功率;磁控溅射本身粒子初始动能比较小,离化率低,电源功率越大,溅射出的粒子的初始能量越大,靶材溅射量也越大,沉积速率越快,膜层容易上厚度和硬度,同时工件温升也大,反光杯真空镀膜厂家,过高的功率会使沉积速率太快,粒子来不及表面迁移和扩散,易形成阴影效应,膜层会比较疏松,应力较大。
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物理l气相沉积(真空镀膜)基本方法 :
从被沉积物质的气化方式看,杏坛反光杯真空镀膜,真空蒸镀为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等;溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子;离子镀可以分为蒸发式或者溅射式,蒸发式为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等,溅射式由进入辉光放电空间的原子由气体提供,反应物沉积在基片上。
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真空镀膜技术优点主要表现在以下几个方面:
5、改善表面硬度,原塑胶表面比金属软而易受损害,通过真空镀膜技术,硬度及耐磨性大大增加;
6、可以提高耐候性,一般塑料在室外会老化的非常快,主要原因是紫外线照射所致,而镀铝后,铝对紫外线反射强,所以耐候性大大提高。
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