静电检测中电阻测试应该执行以下程序：
　　给仪器施加10V电压，15秒后记录读数，除非另有要求。如果显示的电阻值小于1.0×106Ω，记录该值并进行样品的测试。如果显示的电阻值大于或等于：1×106Ω。再给仪器施加电压，并重复采用100V的程序。
　　初始施加的测试电压为10V：
　　——如果Rx≤105Ω，测量值则为结果。——如果Rx>105Ω，把电压改为100V
　　施加电压为100V：
　　——如果(10512)Ω，测量值则为结果。
　　——如果Rx≤105Ω，测量值可看作为结果。
　　注1：上述情况表示电阻取决施加的电压。如果电阻小于1x104Ω。应考虑电极本身电阻对测试结果的影响。
　　注2：地板和工作表面的电阻超出本标准的范围时，有必要采用较高的电压来测量电阻，但不适用于EPA的测量。
　　注3：为确保测试的准确性，应采用极性电极测试。(直流源，不能用交流电压)
　　注4：对某些材料来说，薄绝缘层的电介质有可能被击穿。在这种情况下不能采用这种测量方法，测试报告中应予以说明。
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来源：http://www.st***ean.cn/news/526.shtml