智能传感器概念早由美国宇航局在研发宇宙飞船过程中提出来，并于1979年形成产品。宇宙飞船上需要大量的传感器不断向地面或飞船上的处理器发送温度、位置、速度和姿态等数据信息，即便使用一台大型计算机也很难同时处理如此庞大的数据。何况飞船又限制计算机体积和重量，因此希望传感器本身具有信息处理功能，于是将传感器与微处理器结合，就出现了智能传感器。

智能传感器是一种能够对被测对象的某一信息具有感受、检出的功能;能学习、推理判断处理信号;并具有通信及管理功能的一类新型传感器；有自动校零、标定、补偿、采集数据等能力。其能力决定了智能化传感器还具有较高的精度和分辨率，较高的稳定性及可靠性，较好的适应性，相比于传统传感器还具有非常高的性价比。

智能传感器系统主要由传感器、微处理器及相关电路组成。传感器将被测的物理量、化学量转换成相应的电信号，送到信号调制电路中，经过滤波、放大、A/D转换后送达微处理器。微处理器对接收的信号进行计算、存储、数据分析处理后，一方面通过反馈回路对传感器与信号调理电路进行调节，以实现对测量过程的调节和控制;另一方面将处理的结果传送到输出接口，经接口电路处理后按输出格式、界面定制输出数字化的测量结果。微处理器是智能传感器的核心，由于微处理器充分发挥各种软件的功能，使传感器智能化，大大提高了传感器的性能。

数字化输出是智能传感器的典型特征之一，它不仅仅是模拟-数字转换实现简单的数字化，而是从机理上实现数字化输出。其中，谐振式传感器具有直接数字输出、高稳定性、高重复性、抗干扰能力强，分辨力和测量精度高等优点。传统写真式传感器的频率信号检测需要较复杂的设计，这限制了其的广泛应用和在工业领域内的发展。而现在只需在同一硅片上集成智能检测电路，就可以迅速提取频率信号从而使谐振式微机械传感器成为国际上传感器的研究热点。