微纳米气泡清洗应用

用微纳米气泡冲洗的据说非常难以加工的半导体晶片的照片。当在制造过程中注入大量离子时，在光致抗蚀剂表面附近会形成称为硬皮的硬化层。当形成这样的硬化层时，

去除光致抗蚀剂变得非常困难。甚至***/是一种强大的化学溶液，也不容易去除。但是，如果使用含臭氧的微纳米气泡，则只能用水将其彻底清除23）。当然，普通的臭氧水根本不能解决问题，但是有可能通过使用微纳米气泡来建立环保的清洁技术。

那么，为什么可以在形成结壳层之后除去半导体晶片，该结壳层即使仅用水也很难用强化学溶液处理？为了将来将该技术引入现场，有必要解决处理时间的问题，为此，阐明作用机理很重要。那里让我们研究微纳米气泡的特征。

微纳米气泡产生自由基

在回到清洁半导体之前，我想介绍另一个有趣的微纳米气泡现象。 它是自由基的产生。

大约20年前，当我开始这项研究时，我使用一种现象作为参考模型。 它是通过超声波产生的活性物种。 水中的超声波辐射伴随着强烈的声压波动，从而导致空化效应。 产生微纳米气泡并迅速崩溃（压碎）。 如上所述，当微纳米气泡变小时，内部压力与粒径成反比地上升。 当超声波产生的微纳米气泡时，内部压力的升高非常快，因此认为其效果接近绝热压缩。 结果，在的瞬间形成了非常高的温度场，并且温度迅速升高。 这就是所谓的极限反应场的形成，结果，一部分水分子被热分解以产生诸如羟基的活性物种。

微纳米气泡相关作用

首先，我们期望与微纳米气泡作用有关的化学作用。 当然，这通过活性物质的产生具有很大的影响，并且是在清洗半导体中不能忽略的影响因素。 然而，臭氧微纳米气泡泡和氧气微纳米气泡的剥落现象考虑到气泡的影响，我们认为微纳米气泡的物理效应和电荷特性不可忽略。 特别地，动态变化是作为微纳米气泡的特征的重要因素，并且在该过程中，例如，观察到表面电荷浓度。 当它完全消失时，它还会导致生成诸如氢氧自由基之类的活性物质，但是过渡过程中的静电效应可能在清洁中起重要作用。

微纳米气泡超声波

超声波诊断是从无创性，简便性，实时性和经济性的观点出发广泛普及的***诊断技术。 微气泡通常被用作超声造影剂，但是可商购获得的造影剂具有气泡尺寸大并且难以在血管外的细胞上积聚的问题。 因此，在本研究中，检查了“纳米气泡”的制备条件，并进行了以能够选择性吸附在细胞上的***上的抗CD147标记的微纳米气泡的累积特性及其超声成像。

首先，我们尝试使用新合成的环淀粉修饰的表面活性剂和可聚合的双子型表面活性剂制备微纳米气泡，发现可以制备直径约200 nm的纳米气泡。接下来，当检查抗CD147标记的微纳米气泡在细胞中的积累特性时，通过超声诊断图像清楚地观察到细胞附近的特异性积累。