大型纳米气泡溶解氢压坏时产生的射流对半导体衬底研磨的影响

分子动力学模拟大型纳米气泡溶解氢压坏时产生的射流对半导体衬底研磨的影响

随着功率半导体器件的需求增加，大型纳米气泡溶解氢价格多少，要求CMP提高SiC、GaN等高硬度半导体基板的研磨速度。我们考虑了大型纳米气泡溶解氢压坏时产生的射流的利用。由于射流具有比冲击波更强的冲击力，因此通过使喷气式流与基板碰撞，可以期待研磨速度的提高。因此，在本演讲中，我们报告了利用分子动力学计算分析了大型纳米气泡溶解氢射流对SiC半导体衬底的影响的结果。

大型纳米气泡溶解氢性质与应用关系

大型纳米气泡溶解氢还没有开始研究吗?在年轻的研究领域，蕴藏着许多可能性。今后是马异氯泡沫、大型纳米气泡溶解氢的物理化学行为和生理活性效果，发生法的开发，大型纳米气泡溶解氢优势，发生法和液物性的关系进一步明确有必要被批评。另外，食品、环境改善、水处理、工业、农业、水产业、、日常生活等领域的我希望扩大对大型纳米气泡溶解氢的有效利用。

为了弄清大型纳米气泡溶解氢对食品的烹调、加工产生的影响，利用大型纳米气泡溶解氢对豆浆进行起泡，萍乡大型纳米气泡溶解氢，评价了起泡性和泡沫的稳定性。起泡性测定了起泡力和泡沫表面高度，稳定性测定了排液率和排液速度，并进行了评价。

使用动态光散射法确定在碳酸钾溶液（即碱性电解水）的阴极电解液中产生的氢大型纳米气泡溶解氢的尺寸，尺寸分布和稳定性。结果表明：

1）氢大型纳米气泡溶解氢在密闭系统中稳定存在24 h。大型纳米气泡溶解氢产生后5小时的平均尺寸为160nm。24小时后为184nm。其中一些结合形成直径5-10 μm的气泡。

2）在开放式系统中，甚至在24小时后仍存在氢大型纳米气泡溶解氢；观察到奥斯特瓦尔德熟化现象。即，大型纳米气泡溶解氢工作原理，尽管一些大型纳米气泡溶解氢通过熟化而溶解并消失在溶液中，但其他大型纳米气泡溶解氢长到了微米以上。因此，它们的分布范围在成熟期间变宽。

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