FE3000设备服务为先
作者:大塚电子2020/10/28 7:28:14

FE3000反射式膜厚量测仪:主要测试项目:量子效率测定,量子效率的激发波长依赖特性,发光光谱、反射光谱测定,透过、吸收光谱测量,PL激发光谱,颜色演算(色度、色温、演色性等)利用二次激发荧光校正功能去除再激发荧光发光。


解析非线性i小二乘法/波峰波谷解析法/FFT解析法/适化法

基板解析/里面反射补正/各类nk解析模型式

i对反射率/解析结果Fitting/折射率n的波长相关性/消光系数k的波长相关性

3D显示功能(面内膜厚分布、鸟窥图、等高线、断面图)

本仪器是一套使用积分半球对薄膜状样品或粉状物样品进行量子效率测试的系统。




积分***/半球 ,在遭受到强大的冲击力后有可能会产生变形甚至损坏。对于这种情况,我司将不承担责任。积分半球的内侧涂有***i钡或者是Spectralon,受到污染后如需要交换可与我司联系。货期大约为1.5个月左右。

关于冷却水的更换没有特定的时间要求,可目视,发现水有污垢时请更换冷却水。更换时请用自来水或是软水(不可使用纯水,如使用纯水,会和空气中的CO2结合形成酸性环境,从而导致冷却装置内部遭到腐蚀)。


产品特点非接触式、不***样品的光干涉式膜厚计。、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)。


应用范围■ FPD

?LCD、TFT、OLED(有机EL)

■ 半导体、复合半导体

?矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料

■ 资料储存

?DVD、磁头薄膜、磁性材料

■ 光学材料

?滤光片、抗反射膜

■ 平面显示器

?液晶显示器、薄膜电晶体、OLED

■ 薄膜

?AR膜

■ 其它

?建筑用材料



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