在市场上,无尘布品种多样,用途广泛,价格甚至更不均衡。购买无尘布时,客户主要通过无尘布材料、吸收率等评估无尘布性能和费用。
然而,在半导体工业的洁净室无尘布尘埃粒子、离子、静电放电等要求非常高。硕远科技提供了一些评估无尘布的方法。
无尘布要求严格的测试以满足性能要求和污染控制标准,通常无尘布要求以下测试:
1.耐磨性试验
一般来说,耐磨性试验属于布料的物理性能试验。但是,在无尘布的试验中,由于磨损过程中会产生尘粒,将无尘布的耐磨性试验总结到污染控制范围内更合适。
测试标准:耐磨性越强,产生尘粒的可能性就越小。
2.克重
根据美国材料试验标准-D-3776 无尘布测试的单位面积重量
参考试验标准:一般要求为150-300 g/㎡
3、液体吸收量和液体吸收速度
根据IEST-RP-CC004.3第8节,应测试无尘布的吸收量和吸收率。
吸收的液体量反映了每单位面积无尘擦拭布吸收的液体毫升数。
吸入速率指的是无尘布吸收10毫升液体所需的时间。
上述两次测量必须测量三次,并计算平均值。
参照试验标准:液体吸收一般不小于400克/㎡
吸入速度一般不超过1秒。
4.集成电路测试
根据IEST-RP-CC004.3第7.2节,对无机阴离子和阳离子的含量进行定性和定量测量。
参考测试标准。在磁头行业,一般要求CL-≤0.03ug/c㎡。SO42-≤0.03微克/立方厘米;NO3-≤0.03ugc㎡;合计:< 1.0微克/立方厘米
5.NVR试验
根据IEST-RP-CC004.3第7.1节,每单位面积不得有挥发性残留物。
NVR试验是将无尘布在一定量的溶剂中浸泡一定时间,然后取出无尘布来测试溶解在溶剂中的非挥发性残留物的质量。
参考测试标准:在磁头行业,一般要求< 3.0 ug/c ㎡
6.液化***试验
根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节,液化***试验在无尘布上进行。
LPC可以测试无尘布上的液体尘粒数量。
LPC测试是将无尘布浸泡在一定量的去离子水,通过超声波振荡检测去离子水的尘粒浓度。*参考测试标准:在磁头行业,一般要求< 30计数/c ㎡
7.傅里叶变换红外光谱测试
傅里叶变换红外光谱
参考测试标准:硅油、氨基化合物和增塑剂一般不允许使用。
8.气相色谱测试
气相色谱检测是一种用于分析无尘布上有机污染物类型和含量的方法。
参考测试标准:在磁头行业,总计:< 10ug是必需的
本产品由海克斯(www.besthks.com)整理发布,产品资料仅供参考
版权所有©2024 产品网