MPS-4/6简易探针台MiniProbeStation型号技术参数MPS-4MPS-6台体尺寸4英寸6英寸水平旋转可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度***装置X-Y移动行程2英寸*3英寸X-Y移动精度10微米样品固定真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环针座平台左右各一个针座平台，***多可放置6个探针座背电极测试样品台电学***悬空，4mm插孔可接背电极显微镜显微镜类型单筒显微镜/体视显微镜放大倍率16X-200X移动行程水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm光源外置LED无极调节亮度环形光源CCD200万像素/500万像素/1200万像素探针座X-Y-Z移动行程12mm*12mm*12mm移动精度10微米/2微米/0.7微米/0.5微米吸附方式磁力吸附/真空吸附探针夹具线缆同轴线/三轴线漏电精度10pA/100fA/10fA固定探针弹簧固定/管状固定接头类型BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子探针针尖直径0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米材质钨钢/铍铜外形400mm长*380mm宽*500mm高重量约20千克可选附件加热台屏蔽箱显示器光学平台转接头镀金卡盘射频测试配件光电测试配件根据客户要求定制)