该PECVD（等离子化学气相沉积系统）系统，有多路质量流量计系统（进口流量计），真空机组（进口真空泵），PE射频电源（进口射频源），温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化，有利于降低工艺温度，同时扩大工艺的使用条件，满足更多的工艺实验要求，如石墨烯、C纳米管等，控制操作系统集成于触摸屏操作面板上，便于操作与观察。技术参数：双温场滑轨炉（BTF-1200C-S-SL）主要特点：滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。技术参数：额定功率（KW）：4额定电压（V）：AC208-240VSinglePhase，50/60Hz***高温度（℃）：1200（1hour）持续工作温度（℃）：1100***大升&降温速率（℃/S）：≤20炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1900（管径可选）加热区长度（mm）:230+230恒温区长度（mm）：100+100控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能控温精度（℃）：&plu***n;1认证标准：密封系统：炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表，法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口。净重（Kg）：80射频电源500W信号频率:13.56MHz&plu***n;0.005%功率输出范围:L5W-500W***大反射功率:200W射频输出接口:50Ω,N-type,female功率稳定度:&plu***n;0.1%谐波分量:≤-50dbc供电电压:单相交流（187V-253V）频率50/60HZ整机效率:>=70%功率因素:>=90%冷却方式:强制风冷供气系统工作电压：185~245V50HZ***大输出功率：18W流量计标准量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）工作温度：5~45℃工作压差：0.1~0.5MPa***大压力：3MPa准确度：&plu***n;1.5%FS测量范围：-0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid）针阀：316不锈钢混气罐：Φ80×120mm截止阀：Φ6mm”316不锈钢针阀尺寸：600×600×650mm低真空机组VAU-02空气相对湿度：≤85%工作电电压：220V&plu***n;10%50~60HZ功率：500瓦抽气速率：8m³/h极限真空：4X10-2Pa实验真空度：1.0X10-1Pa容油量：1.1L进气口口径：KF25排气口口径：KF25转速：1450rpm噪音：50dB外型尺寸：600×600×600mm)