AirSentry®II电子迁移率光谱仪AirSentry®II电子迁移率光谱仪AirSentry®II电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染（AMC)，在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。它具有ppt级的灵敏度，传感器反应迅速、监测选择性广、性能稳定。AirSentryII传感器配有***控制软件，可以轻松地采集分析数据。AirSentryII传感器提供连续可追溯的数据，来快速回应污染源和污染事件。特点酸类和基底（胺类、氨以及氯化物）的高灵敏度检测使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置体积小，可放在任何位置以太网，RS-232,4-20毫安输出优点连续监测关键点耐久可靠的数据收集、控制、分析长期数据稳定性***低的每份测试成本应用在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测化学过滤器有效率的资格确认遍及洁净室以及生产工具里的污染源的***和去除前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析)