高纯硅分析光谱仪
高纯硅分析光谱仪主要技术参数射频发生器(RF)(1)电路类型:电感反馈式自激振荡电路,全自动点火,全自动化控制,所有功能实现电脑设置(点火、熄火、功率等参数设置);实时功率控制;自动匹配调谐;光室恒温;自动峰位校正;蠕动泵进样,泵速连续可调;针对不同样品有多种进样系统可以选择(普通进样系统、耐高盐进样系统等);防紫外线辐射、防高频辐射观察玻璃,使操作更安全。同轴电缆输出,匹配调谐,取功率反馈,进行闭环自动控制。(2)工作频率:40.68MHZ&plu***n;0.05%(3)频率稳定性:<0.1%(4)输出功率:800-1200w(5)输出功率稳定性:≤0.3%(6)电磁场泄漏射强度:距机身30cm电场强度E:<2V/m,磁场强度H:<0.2A进样装置:(1)输出工作线圈内径25mm,3匝(2)炬管:三同心Fassel型,外径20mm的石英炬管(3)同轴型喷雾器外径6mm(4)双筒形雾室外径35mm(5)***气流计规格和载气压力表规格:①、等离子体流量计(100-1000)L/h;(1.6-16L/min)②、辅助气流量计(10-100)L/h;(0.16-1.66L/min)③、载气流量计(10-100)L/h;(0.16-1.66L/min)④、载气稳压阀(0-0.4MPa)测光装置:(1)光电倍增管规格:R212UH(2)光电倍增管负高压:200-1000V,稳定性<0.05%(3)光电倍增管电流测量范围:10-12-10-4A(4)信号采集为V/F交换:1mV对应100Hz高纯硅分析光谱仪http:///huaketiancheng-SonList-1147200/http:///st156735/ml)
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