硅氟橡胶O型圈（FLS）矽氟橡胶为硅橡胶经氟化处理，其一般性能兼具有氟橡胶及矽橡胶。优点：耐油性好、耐溶剂、耐燃料油、耐高温、耐低温，一般使用温度为-50~200℃。优点：适用于特别用途，如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。硅氟橡胶O型圈适用于太空机上。缺点：不能暴露于煞车油，酮类及胼的溶液中7、全氟橡胶O型圈（FFKM）类似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡胶具有优异耐化学性和耐高温性。普通全氟橡胶O型圈工作温度为-250℃~240℃,特殊全氟橡胶O型圈温度可达320℃。优点：耐热性***，优异的抗化学特性；缺点：耐低温较差，原料价格偏高，生产难度比较大。全氟橡胶O型圈广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用,运用范围包含薄膜制程中之PVC,CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程)