德国马尔湖北武汉***德国马尔湖北武汉***MarSurfCWM100高精度计算机控制光学测量仪器具有亚纳米级分辨率。综合性3D测量系统，包含共焦显微镜和***特性特殊显微镜技术，专用于重现高达物理极限的细微表面特征在实时视频技术中进行表面扫描，提供快速而可靠的结果***高质量物体的大型遴选元素和结构的拓扑、高度、形状和位置的测量稳定，免维护，使用寿命长技术数据测量原则使用干涉仪，***和共焦光源（KFM和WLI）：高功率LED，505nm测量范围mm传感器装置在Z方向可移动100mm，CNC控制载物台在X和Y方向可移动100mm，CNC控制干涉仪，***：测量范围(WLI)：***高4mm（取决于镜头）共集显微镜：测量范围(KFM)：***高800µm（取决于Z方向分辨率和镜头）接口230V,50Hz应用机器建造：所有类型纯金属表面（打磨，轧制等），以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面***：植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面电子：涂层表面分析，电子和半导体组件的测量和分析光学：各种光学组件（所有材料）的粗糙度分析附件传感器系统，包含：共焦显微镜KFM，带6x物镜转换器相机，768x582像素，***高48图像/秒100mmCNC控制Z轴，集成Heidenhain玻璃分划尺WLI软件模块，"Inspector"软件花岗石底座和立柱带传感器系统，CNC控制载物台机动多轴控制Z轴和XY工作台以***测头和像场合并50x0.8EPI镜头（共焦显微镜）20x0.4DI镜头（***）CT120双轴倾斜工作台设置工作台角/-30°标准设置共焦显微镜：KFM物镜10x0.5；20x0.75；50x0.6，载物台和工件之间有11mm间隙；50x0.8；100x0.9***：WLI物镜2.5x0.075；5x0.13；10x0.3；20x0.4；50x0.55；100x0.7)