德国马尔高精度光学测量仪MarSurf WM 100
MarSurfWM100高精度光学测量仪高精度光学测量仪MarSurfWM100有亚纳米级分辨率和测量精度。3D***测量系统。特性亚纳米分辨率和测量***度下有***高精度适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物***表面2D表面分析和测量评估地形学3D表面分析和测量评估快速测量#96短测量时间在***多4个轴上手动***工作台和物体多种镜头选择,可根据测量对象进行***调整采用花岗石底座的稳固型设计基于Mountain***ap©的***评估软件技术数据测量原则使用干涉仪,***光源(WLI):高功率LED,505nm测量范围mm传感器装置在Z方向可手动移动200mm载物台在X和Y方向可手动移动干涉仪,***:测量范围(WLI):***高100µm(垂直)接口230V,50Hz应用机器建造:所有类型纯金属表面(打磨,轧制等),以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面***:植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面电子:涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析光学:各种光学组件(所有材料)的粗糙度分析附件传感器系统,包含:WLI传感头相机,768x582像素,***高48图像/秒100µmZ轴,带压电驱动WLI软件模块,"Inspector"软件花岗石底座和立柱,配有手动***传感器系统手动XY载物台用于测头***20x0.4DI镜头(***)CT120双轴倾斜工作台设置工作台角+/-30°标准套件***:WLI物镜2.5x0.075;5x0.13;10x0.3;20x0.4;50x0.55;100x0.7可选:配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震)