主要特点：1.主动式减震器2.******的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护3.标配的五轴马达驱动全对中样品台4.全自动样品更换气锁5.全自动样品监控系统6.全自动物镜光阑7.多通道显示系统8.自动减速系统标准配置详细资料技术参数：1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)2.加速电压：0.1KV-30kV3.放大倍数：25-100万倍4.样品室尺寸：***大200mm直径样品5.束流强度：10-13到2X10-9)