德国BMT***S***级测量系统（共聚焦原理）***S***级测量系统（共聚焦原理）依据不同的需求配置不同的传感器：光谱传感器、三角测量传感器、白光干涉系统、共焦传感器、自聚焦传感器、触针式传感器。主要用途◆任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）◆用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业◆其他表面的微观形貌测量◆微型机械元件的尺寸测量◆金相测量◆微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算主要特点•非接触测量表面形貌，2D/3D，垂直和横向尺寸测量；•粗糙和光滑表面测量；•粗糙度参数测量，FFT，ACF，平面斜面及台阶高度测量；•金属片，玻璃，塑料，晶片及其他物体的微观形貌；•表面反射率对测量结果无影响。技术参数共聚焦显微镜头•垂直测量范围（mm）1•垂直分辨率（nm）30•横向分辨率（μm）3•工作距离，约（mm)24•光斑尺寸，约（μm)6•测试频率（kHz）1～10移动平台•X、Y、Z轴（mm）50•步长（μm）0.5•平直度/100mm&plu***n;2μm)