德国BMTWLIInfra干涉仪WLIInfra干涉仪德国BMTWLIInfra干涉仪是用于硅薄膜的厚度测量设备。仪器适用于实验室、车间和生产线上的质量管理。测量头提供***的重复性，设计坚固紧凑、免维护，适用于在线测量。产品特点：•MEMS、硅梁、透明薄材料的非接触高精度厚度测量；•纳米级分辨率；•手动或自动测量步骤设计，简单易用；•不受温度变化和热效应的影响；•***的重复性；•可配备表面轮廓测量。技术参数：•厚度分辨率（nm）<1•探针大小（μm）约150（可定制）•厚度范围（μm）0.1-600•仪器尺寸（mm）320x320x380•重量（kg）120•晶圆夹具定制，可达30cm•全自动测量•标准或定制的软件包)