德国BMTWLILA***WLILA***德国BMTWLILA***比使用显微物镜的设备可测面积达得多，同时具有非常高的数值孔径。非常适于平整度测量。特点：•表面轮廓和平整度测量•粗糙和光滑表面均可测量•测量不受颜色和材料影响•数秒内完成测量•测量范围大技术参数：适用于较大面积平面的表面结构形状测量测量头•光源LED•测量范围（μm)100/150•垂直分辨率（nm）≥1•横向分辨率（μm）30•测量面积（mm）14×10•工作距离（mm)24•数码相机＜14位（Pixel）1392×1040)