德国BMT WLI Linik干涉仪
德国BMTWLILinik干涉仪德国BMTWLILinik干涉仪特点:•区域表面的形貌测量;•数秒内快速测量;•粗糙和光滑表面都可测量;•测量结果不受样品的颜色和材料影响;•产品坚固耐用。技术参数:•光源LED•测量范围(mm)150•垂直分辨率(nm)1•横向分辨率(μm)>0.2•测量面积(μm)90×70•工作距离,约(mm)0.3•光斑尺寸,约(μm)0.95•图像尺寸(Pixel)1~10)
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