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德国BMT AF200微型自动聚焦激光测量系统
德国BMTAF200微型自动聚焦激光测量系统德国BMTAF200微型自动聚焦激光测量系统德国BMT公司生产的AF200自聚焦测头系统,可替代现有传统的位移和粗糙度测头。实现快速非接触测量表面形貌,粗糙度以及精密位移。激光测量光束借助于物镜聚焦于物体表面,物镜的位置连续可调,激光束的焦点总是与物体表面重合,可同时测量表面轮廓和局域反射光。AFS传感器具有表面复现度高的特点,传感器可配备微型照相机适配器,以便能够直接通过物镜对表面片段直接观察,使激光光束精密***。特别开发、高度集成的BMT-IC技术,传感器热漂移极低。高倍率孔径物镜,保证仪器无论在垂直方向还是在水平方向均能提供较高的分辨率。主要用途:◆具有完整表面复现的表面粗糙度和轮廓测量◆精密位移测量◆微机械零件的尺寸测量◆金相测量◆振动测量◆厚度测量◆微小区域内直线度、平面度、园弧半径的测量(如转位刀片刃口、金刚石刀具)主要特点:◆非接触式表面轮廓测量、反射率的测量、垂直和横向的尺寸测量◆BMT-IC专利技术传感器◆微型化的传感器◆分辨率1nm◆测量范围2000µm◆光斑直径<1µm◆适用于制造业所有粗糙度测量◆连续变焦主要优点:◆在高保真轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量◆测量结果与表面结构无关◆数据采集和评估可归并到已有的软件中◆具有可组装性,可组装到已有的系统中技术数据:型号AFS1传感器AFS2传感器TFS传感器测量范围nm&plu***n;500/&plu***n;50&plu***n;1000/&plu***n;100&plu***n;500/&plu***n;50垂直分辨率nm11工作距离mm2213激光班直径(约)µm0.50.51***大测量频率*kHz202020***大视场倾角**°202015激光波长nm635635635激光等级111外形尺寸mm52x25x5852x25x5852x25x58重量(约)g100100100)