德国BMTWLIRing干涉仪WLIRing干涉仪该测量系统用于快速准确测量圆柱形工件的表面形貌，计算粗糙度参数，微型结构，及内外部表面特征。特点l对内外层都可进行测量l光滑粗糙表面都可进行测量l测量结果不受工件的颜色和材料影响l数秒内进行快速测量l用于在线测量的OEM测量头技术参数测量头l光源：LEDl垂直分辨率（nm）：<1l水平分辨率（μm）：≥1l焦距，大约（mm)：1l测量区域的尺寸：由物体决定l图像尺寸（Pixel）：1000×1000移动平台lZ轴（mm）：10～50l步进速度（μm/min）：1)