半自动晶圆撕膜机(减薄后)ADW-08 plus
半自动晶圆撕膜机(减薄后)ADW-08plus——适用于8”和12”晶圆,操作简便。半自动晶圆撕膜机(减薄后)ADW-08plus特点:·独有的、专利设计的机械手撕膜技术,无耗材撕膜;·全自动撕膜和收集废膜;·手动放置和取出晶圆,或带承载环贴膜的晶圆;·8”陶瓷晶圆台盘可以匹配8”晶圆/承载环;·12”陶瓷晶圆台盘可以匹配12”晶圆/承载环;·基于PLC控制,带5.7”触摸屏;·去离子风扇和ESD保护;·UV膜&非UV膜能力;·配置光帘保护功能,和紧急停止按钮;·三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;半自动晶圆减薄后撕膜机ADW-08plus规格:晶圆直径8”&12”晶圆;晶圆厚度100~750微米;撕膜原理晶圆种类硅,***化***或其它材料;单平边,双平边,V型缺口;BG膜种类蓝膜,或UV膜;撕膜角度<45°→0°;撕膜台盘温度室温~150℃可控;撕膜方式专利的机械手撕膜技术,无需任何耗材;装卸方式手动放置与取出晶圆或贴膜晶圆/承载环;防静电控制去离子风扇;控制单元基于PLC控制,带5.7”触摸屏;安全保护配置紧急停机按钮;电源电压单相交流电220V,16A;压缩空气60PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺;机器外壳白色喷塑金属外壳;体积1350毫米(宽)*880毫米(深)*1560毫米(高);净重400公斤;ADW-08plus半自动晶圆减薄后撕膜机性能撕膜质量无裂纹、无破碎、无划伤;每小时产能≥60片晶圆;MTBF>168小时;MTTR<1小时;停机时间<3%AMSEMI矽旺半导体名称及型号:半自动晶圆贴膜机(减薄前)ATW-08/ATW-12半自动晶圆撕膜机(减薄后)ADW-08plus/ADW-08半自动贴膜机(基板切割)AMS-12半自动晶圆贴膜机(预切割膜)AMW-08AT半自动晶圆贴膜机(切割膜)AMW-08/AMW-12衡鹏企业供应)