TREK645/646静电卡盘电源TREK645软件驱动式静电卡盘电源，可满足各种要求苛刻的应用，效率及吞吐量是其它品牌产品的三倍，***了晶片粘贴及晶片爆裂的情况，能够更好地控制颗粒物对晶片的污染。应用TREK645拥有***的性能及强大通用性，可用于多种特有的工具/工艺，而不需要为每种不同的工具/工艺选配一种新电源。并内置抓取晶片检测功能（临界值可通过程序设置）：指明晶片抓取事件，由低压正弦波产生的电容性电流，在相位A及相位B输出上叠加合成，可被监测但是也可通过程序设置禁用。叠加波形用于指示无晶片，有晶片，或晶片夹紧状态。静电吸附驱动的材料抓取搬运；半导体晶片加工；平板及其它加工材料的非机械化转移，材料不适合机械夹持方法的。输出相位同步高压输出：两个同步高压输出（输出相位A及输出相位B）幅度相同，极性与补偿电压相反。电压A（基准相位）:0to&plu***n;2KV电压B（相位B=[-1]x相位A）：0to&plu***n;2KV输出电压范围：0to&plu***n;2KVDC输出电流范围：0to&plu***n;6.5mADC峰值容量10mA内部控制补偿电压（此功能可通过程序禁用）：一个高达&plu***n;2KV的补偿电压可同步添加到每个相位的输出。不管A和B处的电压和极性是什么，添加补偿电压后，补偿电压的幅值及极性同时在输出A及B处出现。补偿电压和每个相位的输出电压总和不能超过&plu***n;2KV。输出波形：每个DC输出电压（相位A及相位B）的高低与时间的升降对称，或者可通过用户设定的夹持及松开的波形来编辑。输入设置高压值：HV幅值可以通过设备在内部或从外部控制设置补偿电压：补偿电压可以通过设备在内部或从外部控制输出电压监视器（背板连接器）输出比：1V/200V相位BDC：精度优于满量程的2%偏移电压：<10mV输出杂讯：<50mVrms稳态电压泄漏电流监视器输出比：1V/100μADC精度：&plu***n;5μA输出杂讯：<50mVrms电容性负载选择：根据系统及静电卡盘的物理构形，卡盘抓取的电容状态范围可通过程序在0-10，20或30nF（相间）间选择。参数尺寸：43.7mmHx421.6mmWx457.3mmD面板宽度：482.6mm重量：3.86Kg连接器：15针D型ITTCanon，用于连接远程监控设备，9-针D型ITTCanonRS-232,3针FCTD型高压，标准A型USB，以太网（选配）及面板PowerON/OFF电源开/关：2位摇杆开关运行环境温度：0℃-35℃湿度：达85%，无结露海拔高度：达2000m电气参数DC输入接口：2.0mm锁定DC插孔，中心触点为正极，壳部为负极（与SwitchcraftS761K插头连接）接地：接地螺栓电源要求：24VDC，1.7A)