TREK640静电卡盘优化调整器TREK640是一种用于评估静电卡盘/夹盘的静电压并优化波形，以***小化卡盘的松开时间，***大化卡盘夹持的分析工具，为ESC静电卡盘系统提供***佳的晶片加工工艺。输出相位电压A（基准相位）相位A输出电压范围：0to&plu***n;2KVorPeakAC(4KVp-p)相位A输出电流范围：0to&plu***n;5mAorPeakAC(10mAp-p)电压B（相位B=[-1]x相位A）相位B输出电压范围：0to&plu***n;2KVPeakAC(4KVp-p)相位B输出电流范围：0to&plu***n;5mAorPeakAC(10mAp-p)放大器性能（每个相位）大信号带宽（1%失真率）：DCto>1.2KHz转换速度：>15V/μsDC稳定：优于满量程的0.1%输出杂讯：小于100mVrms随温度飘移：小于350ppm/℃小型号带宽（-3dB）：DCto>5KHz稳定时间：<300μs，对于0-2KV的阶跃变化偏移电压：小于500mV随时间飘移：小于100ppm/hour,无渐增输出电压监测器（背板连接器）随温度飘移：小于350ppm/℃稳态电压泄漏电流监视器性能抓取晶片检测性能（通过程序设置临界值）：为指明晶片抓取状态，由低压正弦波产生的电容性电流，在相位A及相位B输出叠加，可被监测但是也可通过程序设置禁用。叠加的波形用于显示无晶片，有晶片，或晶片夹紧状态。电容性负载选择：根据系统及静电卡盘的物理构形，卡盘抓取的电容状态范围可通过程序在0-10，20或30nF（相间）间选择。参数尺寸：43.7mmHx421.6mmWx457.3mmD面板宽度：482.6mm重量：3.86Kg连接器：15针D型ITTCanon，用于连接远程监控设备，9-针D型ITTCanonRS-232,3针FCTD型高压，标准A型USB，以太网（选配）及面板PowerON/OFF电源开/关：2位摇杆开关运行环境温度：0℃-35℃湿度：达85%，无结露海拔高度：达2000m电气参数DC输入接口：2.0mm锁定DC插孔，中心触点为正极，壳部为负极（与SwitchcraftS761K插头连接）接地：接地螺栓电源要求：24VDC，1.7A)