1.能适应156mm*156mm和125mm*125mm两种硅片2.生产能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS(125mm*125mm),具有储片缓存能力3.机械臂强度可靠，能***平稳快速运动4.传动部件速度具有从一个传动部分到另一个传动部分的协调能力，可调性强5.各***硬件系统，软件上能实现***控制6.单轴机械臂运输硅片)