·高精度控制能够进行灵敏度为0.3kPa（1mmHg），反复再现性为0.13kPa（&plu***n;1mmHg）以内的高精度的真空控制。·优异的压力特性对于次压力变化，设定压力变动为1.3kPa（10mmHg）以内。大流量类型能够进行流量达到／的控制，因此应用于大流量的使用。·应答性良好对于次侧的压力变动反应灵敏。)