·高精度控制能够进行灵敏度为0.1%F.S.，反复再现性为&plu***n;0.1%F.S.的高精度气压控制。·优异的特性具有优异的减压特性、压力特性、流量特性。特别是减压的***低压力(减压灵敏度可达到0.03kPa(理论计算值)的优异特性。·优异的起动稳定性即使在长时间不工作的条件下，亦不必进行压力再调整。·能够进行远程操作通过使用气动继电器RR系列，能够进行远程操作。·因为对压力控制方式使用备有滚动隔膜和计量膜盒的伺服平衡方式，所以能够进行精密的压力调整。RR系列进行能够实施正负偏置调整的输出变化比为1:1的精密压力继电器控制。·通过步进电机进行控制RS・M／S系列能够与步进电机结合使用，进行非常精密的电气压力控制。)