零件经真空热处理后，崎变小，品质高，且加工工艺自身实际操作灵便，无污染。因而真空热处理不但是一些独特铝合金热处理的必需方式，并且在一般工程项目用钢的热处理中也得到运用，非常是专用工具、磨具和高精密耦件等，经真空热处理后使用期较一般热处理有很大的提升。而离子渗氮是靠晖光放电产生的活性N离子轰击并仅加热钢铁零件表面，发生化学反应生成核化物实现硬化的。比如一些磨具经真空热处理后，其使用寿命比原先盐浴解决的高40～400%，而有很多专用工具的使用寿命可提升3～4倍上下。除此之外，真空泵热处理炉可在较高温度下工作中，且产品工件能够维持清洁的表面，因此能加快有机化学热处理的吸咐和反映全过程。因而，一些有机化学热处理，如渗氮、高频淬火、渗铬、渗硼，及其多元化共渗都能获得更快、更强的实际效果。)