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纯度:99.999%,杂质含量(ppm):Ar≤1.0,CO2,≤1.0,CF4≤0.5,H2≤2.0,Kr≤5.0,N2≤2.0,O2≤0.5,THC≤0.5,H2O≤0.5。纯度:99.9995%。)
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