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纯度:99.999%,杂质含量(ppm):O2≤0.5,N2≤1.0,CO≤0.5,CO2≤0.5,CH4≤0.5,H2O≤0.5,He≤8.0。纯度:99.99995%,杂质含量(ppm):NOx≤0.01,O2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.05,SO2≤0.01。)
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